تنظيف الغرفة داخل منطقة معينة من جزيئات الغبار الفضائية في الهواء ، وضرر الغازات ، والبكتيريا الضارة ، مثل تصريف التلوث ، ودرجة الحرارة الداخلية ، والنظافة ، والضغط داخل الخنق ، وسرعة الإعصار المتناثر ، والضوضاء ، والاهتزاز والإضاءة المعدات ، والتحكم الثابت في منطقة المواصفات الخاصة ، وإعطاء خاص تم صياغته بواسطة الفضاء. أي بغض النظر عن كيفية تغير بيئة الهواء الخارجية ، يمكن للهواء الحفاظ على النظافة ودرجة الحرارة والرطوبة والضغط وخصائص الأداء الأخرى للمعايير المحددة الأصلية.
تتمثل الوظيفة الأساسية لغرفة التنظيف في التحكم في أيام درجة التنظيف ودرجة الحرارة والرطوبة في الهواء الذي تتعرض له منتجات المؤسسات (مثل رقائق السيليكون ، وما إلى ذلك) ، بحيث يمكن تصنيع منتجات المؤسسة في منطقة يتم صيانتها جيدًا. مساحة بيئية ، والتي تُعرف بغرفة التنظيف. وفقًا للاتفاقية ، يتم تحديد درجة التنقية النظيفة بشكل أساسي وفقًا لعدد الجزيئات في كل متر مكعب من الهواء التي يتجاوز قطرها مواصفات التقسيم. بعبارة أخرى ، النظافة لا تعني عدم وجود القليل من الغبار ، ولكن في كمية قليلة جدًا من الوحدات. بالطبع القاعدة
وفقًا لجزيئات الغبار القياسية مقارنةً بالغبار الجاف ، أصبح الآن مسطحًا صغيرًا صغيرًا صغيرًا ، ولكن بالنسبة للهيكل البصري الإلكتروني ، حتى القليل من الغبار هو تأثير ضار كبير جدًا ، لذلك في منتجات المؤسسة ذات الهيكل البصري الإلكتروني
في الماضي ، كانت النظافة قاعدة ضرورية.
كمية الغبار الجاف الصغير بحجم جسيم 0. يتم التحكم في 3 ميكرون أقل من 3500 لكل متر مكعب ، والتي تصل إلى الدرجة A من الكود النظيف الدولي. المواصفات النظيفة الحالية المستخدمة في إنتاج مستوى الرقاقة ومعالجة الغبار هي درجة جفاف عالية A ، وتستخدم هذه المعايير العالية بشكل أساسي
- يتم إنتاج بعض الرقائق عالية الجودة. كمية الغبار الناعم التي تبلغ 0. 5um وأقل تخضع لرقابة صارمة في حدود 1000 لكل متر مكعب ، وهو ما يُعرف عمومًا بالدرجة الألف في الصناعة.
يتم تصنيف حالات غرف الأبحاث إلى الأنواع الثلاثة التالية
التكييف: معدل نظيف (المعدات) التي تم بناؤها وجاهزة للتشغيل. لديها كل الضمانات والوظائف المتعلقة بمعدل النظافة. ومع ذلك ، لا يوجد مشغلين ولا معدات إنتاج ضمن المعدل النظيف.
ثابت: جميع أنواع الغرف النظيفة تعمل بكامل طاقتها ، والمعدات مثبتة بشكل صحيح ، ويمكن استخدام الغرفة النظيفة (المعدات) أو استخدامها وفقًا للإعدادات ، ولكن لا توجد عملية في الغرفة النظيفة.
ديناميكي: غرفة نظيفة في الاستخدام العادي ، وظيفة الغرفة النظيفة كاملة ، مع المعدات والموظفين ، إذا لزم الأمر ، يمكنهم العمل بشكل طبيعي.